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第23章 中微公司688012的前世今生（第5页）

以上的刻蚀应用需求。其中，p

刻蚀设备反应腔全球出货量超

3000

台，累计已有超过

700

台

icp

和

tsv

设备在国内外生产线实现量产。其出色的刻蚀精度、稳定性和生产效率，使其在全球半导体刻蚀设备市场中占据了重要地位。

cvd

设备方面，中微公司在高端照明和显示市场取得了显着成绩，开发的

cvd

设备在国内外已占据超

70%

的市场份额

。公司不断对

cvd

设备进行技术升级和创新，推出了一系列高性能的产品，如

pris

unimax?

等，满足了市场对高品质

led

外延片和

micro

-

led

的生产需求。

在薄膜沉积设备领域，中微公司同样成果丰硕。公司推出了多款新产品，如

preforma

uniflex?

cw、preforma

uniflex?

hw、

preforma

uniflex?

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