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第23章 中微公司688012的前世今生（第6页）

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等，涵盖了多种薄膜沉积工艺。新开发的

lpcvd

薄膜设备和

ald

薄膜设备也已进入市场并获得重复性订单，其中

lpcvd

薄膜设备累计出货量已突破

100

个反应台，2024

年实现首台销售，全年设备销售约

1.56

亿元

。公司的

epi

设备已顺利进入客户端量产验证阶段，在关键薄膜沉积设备研发项目上也正在顺利推进。

财务状况与经营成果

从财务数据来看，中微公司展现出了强大的盈利能力和发展潜力。2023

年，公司实现营业收入

62.64

亿元，同比增长

32.15%；归母净利润

17.86

亿元，同比增长

52.67%；新增订单金额约

83.6

亿元，同比增长约

32.3%

。2024

年，公司业绩再创新高，预计实现营业收入约

90.65

亿元，较

2023

年增加约

28.02

亿元，同比增长约

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