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“嗯,好的,我立刻下来!”他果断回答,随即放下手头的工作,离开办公大楼,快步朝实验室走去。
走在路上,看着路两旁的绿树,郝强的心中满是期待。
EBL光刻机的研发历程并不平坦,经历了无数个日夜的努力与坚持,终于迎来了这个关键时刻。
他知道,这不仅仅是一台机器的测试,更是整个团队心血的结晶。
当他走进实验室时,科研人员们的脸上洋溢着兴奋的神情,空气中弥漫着紧张而期待的气息。
组长站在设备前,满脸期待地指着刚刚组装好的光刻机,仿佛是在向郝强展示一件珍贵的艺术品。
“总算组装完成了,就是有点担忧。”组长的声音中透着激动,又有一些担忧。
第一次测试,多多少少会有些问题。
小问题还好,若是大问题的话,就有可能前功尽弃。
汽车公司和锂电公司的希望全压在他们身上。
“嗯,我再次检查一下。”
郝强走近设备,仔细打量着每一个细节,心中感慨万千。
他想起了团队成员们在实验室里加班加点的日子,想起了那些熬夜调试、反复试验的身影。
每一个人都在为了这个目标而努力,付出了巨大的心血。
抚平心情,认真地检查。
其实,在组装之前,每个零部件都进行过测试了,确保总测顺利。
郝强眼前这个样机EBL001,主机尺寸长4米,宽2.5米,高约3.5米,重约3.5吨。
整个系统包括控制机柜、真空泵系统、冷却水循环系统、减振台座、操作控制台等,全套系统重约10吨。
算上这些配套设备,一台EBL光刻机就不止十平方米了,通常需要至少50平方米的,要求室内净高达到4米,且对地面稳定性有较高要求,重新打了地基,免得工作时影响了工作精度。
当然,哪怕精度是相对性的,理论上跟地面震动没有影响,但纳米级设备要求就比较高。
除了避震要求外,还要求恒温:20±1℃
-相对湿度:45±5%
洁净度:Class100-1000级
以及要求良好的电磁防护。
大概一个小时后,
郝强也没有发现什么大问题,但还是有些担忧,让组长开始测试。
随着组长的指令,测试正式开始。
实验室内的气氛瞬间变得紧张而激动,所有人都屏息凝视,目光紧盯着设备的反应。
随着启动按钮的按下,设备发出轻微的嗡鸣声,逐渐运转起来,显示屏上开始闪烁着数据。
“设备正常运转!”组长略有兴奋,说明路子是对的。
当然,要测试自然要拿实物硅片进行。
实验室里已经准备好了许多片涂上光刻胶的硅片,EBL光刻机与传统的光刻机不同,它无需掩膜版,直接写入。
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光刻机的工作原理,简单来说,就是把硅片当成一块黑板,然后在黑板上画电路图。
而紫外线或电子束(EBL光刻机)就是粉笔,粉笔的粗细就是线条的粗细。
由于黑板大小固定,要想画更多的图,自然是粉笔越细越好,但相应地对技术要求更高,就越难画。
黑板上的一层膜,对应光刻胶。
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