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前驱体储存容器(特殊密封,满足不同保存要求)、气体输送管道(连接储存区和沉积设备)、气体净化和质量监测设备(确保前驱体气体纯度)。
3.〖过程监控与控制系统设备〗:
监控控制台(电脑软件可实时监控参数)、控制系统(精确控制沉积步骤和参数)、数据记录和存储系统(详细记录实验数据)。
(三)【纳米材料表征中心设备】
1.〖扫描隧道显微镜实验室设备〗:
高分辨率扫描隧道显微镜(安装在减震和电磁屏蔽平台)、样品制备和加载区域(便于放置样本)、高精度扫描控制器和数据采集系统(可原子尺度成像和测量)。
2.〖原子力显微镜实验室设备〗:
原子力显微镜(多台,配备不同模式探针)、稳定实验台(清洁环境)、计算机控制系统(精确控制扫描参数)。
3.〖其他表征设备区设备〗:
X射线光电子能谱仪(XPS)、透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱仪等(各自有独立的实验室、样品制备和数据处理区域)。
(四)【纳米材料应用研发设备】
1.〖电子应用研发实验室设备〗:
<微纳加工设备>:
电子束光刻系统(纳米尺度图案化加工)、聚焦离子束刻蚀系统(精细刻蚀和加工)、空气过滤和净化系统(保持微纳加工环境洁净)。
<电学性能测试设备>:
半导体参数分析仪(测量电学参数)、高频示波器(观察高频信号响应)、电路设计和组装区域(集成电子器件构建电路)。
2.〖能源应用研发实验室设备〗:
<纳米电池制备设备>:
电化学沉积系统(制备电池电极)、真空镀膜系统(沉积电池组件薄膜)、化学试剂储存区(存放电解液、电极材料等)。
<电池性能测试设备>:
电池充放电测试仪(充放电循环测试)、电化学工作站(研究电化学过程)、电池组装和封装区域(确保电池密封性和安全性)。
3.〖医疗应用研发实验室设备〗:
<纳米药物载体制备区设备>:
纳米乳液制备设备(制备纳米乳液药物载体)、脂质体合成仪(合成脂质体纳米药物载体)、药品储存区(存放药物原料、辅料和生物活性分子)。
<生物相容性和药物释放测试设备>:
细胞培养箱(培养细胞)、酶标仪(测量细胞生理指标)、药物释放模拟设备(模拟体内环境)。
(五)【数据分析与理论研究设备】
1.〖数据处理中心设备〗:
高性能计算机集群(计算节点多核处理器、大容量内存、高速硬盘)、数据处理和分析软件(数据挖掘、图像分析、数值模拟等软件)。
2.〖理论研究室设备〗:
专业书籍、学术期刊、研究报告、白板、会议桌椅、建模和计算软件(量子力学模型、分子动力学模型等相关软件)。
(六)【材料与试剂储存设备】
1.〖材料储存区设备〗:
材料货架和储存柜(分类存放,标识清晰,有库存管理系统)、特殊储存条件设备(密封、充惰性气体、避光、防潮等)。
2.〖试剂储存区设备〗:
常温试剂储存柜、冷藏试剂储存柜、冷冻试剂储存柜、危险试剂储存库(防火、防爆、通风、泄漏处理设施齐全)、试剂标签和库存管理系统(可扫码或电子标签查询)。
3.〖耗材储存区设备〗:
不同规格移液器枪头、离心管、载玻片、盖玻片、探针、光刻胶、化学试剂瓶、防护用品等储存架(分类清晰,便于取用)、库存管理系统(可实现耗材的快速查询和盘点)。
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