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152 第152章 48纳米光刻机发力龙兴X2来袭(第3页)

刚说完,他又压低声音叮嘱道:“尽量教仔细点,你不可能一直待在这里生产。”

“明白。”

林天点了点头道。

他很清楚,陈星一直在帮他弄小型粒子加器,等设备抵达,他就要去搭建光刻工厂了,哪里还有时间教他们多重曝光技术。

……

光刻机洁净区域。

蓝绿厂的老总陈永得知光掩膜版生产完成那刻,便马不停蹄地赶来工厂,也想着见证开天基带芯片生产过程。

48纳米光刻机前,林天正在为光刻工程师们讲课。

“多重曝光技术,顾名思义就是利用多次曝光、刻蚀,得到我们最终想要的电路图案。”

“举个例子,我们要生产的开天基带芯片,它是28纳米制程,可我们的光刻机是48纳米制程,精度和分辨率远远不够怎么办呢?”

“最直接的办法是换台光刻机,但我们没有这个条件,这就需要在光掩膜版上下功夫,将原本完整的电路图案给拆开,分为阴阳互补的两块或者四块,这样就得到了两份56纳米间隔的电路图案。”

“单次曝光是56纳米,48纳米制程光刻机的精度和分辨率是不是就可以进行生产作业了?”

“这就是多重曝光技术。”

林天宛如老师给学生上课,教得特别仔细,并且还实操演示了一遍多重曝光技术全过程。

席工程师杨方才,以及其他光刻工程师都看呆了。

这是什么天才想法?

设备不够,工艺来凑!

怪不得龙芯国际能够生产14纳米轻舟芯片,原来它们学会了多重曝光技术。

姗姗来迟的陈永听着林天的无私授课,快步来到陈星面前道:“陈老弟,这次真的太感谢你了。”

虽说两人都穿着防尘服,看不见具体样貌,但身处听课工程师人群的外围,很容易就能猜到彼此的身份。

陈星听见是陈永声音,露出抹微笑回应道:“都是国产联盟的,我们就不需要这么客气了,这段时间还要借用老哥你的光刻机呢。”

“哈哈,是我太见外了。”陈永点了点头,随即继续说道:“陈老弟想用多久用多久,如果有需要的话,我给你也搞两台回来。”

“陈老哥的好意我心领了,这个以后再谈吧。”

陈星婉拒道。

花1亿多买48纳米光刻机,他可没有那么多钱,他宁愿拿去投资光刻工厂。

不过光刻工厂属于绝密,他也没什么都往外说。

国产联盟虽好,但人心隔肚皮,要是利益足够大,谁也说不准会不会出现老鼠。

见陈星婉言相拒,陈永也是个聪明人,没有再多说什么,两人静静地等待芯片产出。

半小时后。

一位光刻工程师拿着封装好的开天基带芯片,快步来到陈永和陈星面前道:

“成了,是28纳米的!”

“检测清楚了吗?”

陈永连忙追问。

如果芯片真是28纳米,那就说明多重曝光技术是真的,他的光刻机变废为宝了!

“是28纳米的!”

“切割裸片良率怎么样?”

“95%!”

“我们工程师操作的呢?”

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