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152 第152章 48纳米光刻机发力龙兴X2来袭（第3页）

刚说完，他又压低声音叮嘱道：“尽量教仔细点，你不可能一直待在这里生产。”

“明白。”

林天点了点头道。

他很清楚，陈星一直在帮他弄小型粒子加器，等设备抵达，他就要去搭建光刻工厂了，哪里还有时间教他们多重曝光技术。

……

光刻机洁净区域。

蓝绿厂的老总陈永得知光掩膜版生产完成那刻，便马不停蹄地赶来工厂，也想着见证开天基带芯片生产过程。

48纳米光刻机前，林天正在为光刻工程师们讲课。

“多重曝光技术，顾名思义就是利用多次曝光、刻蚀，得到我们最终想要的电路图案。”

“举个例子，我们要生产的开天基带芯片，它是28纳米制程，可我们的光刻机是48纳米制程，精度和分辨率远远不够怎么办呢？”

“最直接的办法是换台光刻机，但我们没有这个条件，这就需要在光掩膜版上下功夫，将原本完整的电路图案给拆开，分为阴阳互补的两块或者四块，这样就得到了两份56纳米间隔的电路图案。”

“单次曝光是56纳米，48纳米制程光刻机的精度和分辨率是不是就可以进行生产作业了？”

“这就是多重曝光技术。”

林天宛如老师给学生上课，教得特别仔细，并且还实操演示了一遍多重曝光技术全过程。

席工程师杨方才，以及其他光刻工程师都看呆了。

这是什么天才想法？

设备不够，工艺来凑！

怪不得龙芯国际能够生产14纳米轻舟芯片，原来它们学会了多重曝光技术。

姗姗来迟的陈永听着林天的无私授课，快步来到陈星面前道：“陈老弟，这次真的太感谢你了。”

虽说两人都穿着防尘服，看不见具体样貌，但身处听课工程师人群的外围，很容易就能猜到彼此的身份。

陈星听见是陈永声音，露出抹微笑回应道：“都是国产联盟的，我们就不需要这么客气了，这段时间还要借用老哥你的光刻机呢。”

“哈哈，是我太见外了。”陈永点了点头，随即继续说道：“陈老弟想用多久用多久，如果有需要的话，我给你也搞两台回来。”

“陈老哥的好意我心领了，这个以后再谈吧。”

陈星婉拒道。

花1亿多买48纳米光刻机，他可没有那么多钱，他宁愿拿去投资光刻工厂。

不过光刻工厂属于绝密，他也没什么都往外说。

国产联盟虽好，但人心隔肚皮，要是利益足够大，谁也说不准会不会出现老鼠。

见陈星婉言相拒，陈永也是个聪明人，没有再多说什么，两人静静地等待芯片产出。

半小时后。

一位光刻工程师拿着封装好的开天基带芯片，快步来到陈永和陈星面前道：

“成了，是28纳米的！”

“检测清楚了吗？”

陈永连忙追问。

如果芯片真是28纳米，那就说明多重曝光技术是真的，他的光刻机变废为宝了！

“是28纳米的！”

“切割裸片良率怎么样？”

“95%！”

“我们工程师操作的呢？”

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